报告题目：异质PN结复合终端纵向导通金刚石功率二极管的研究

汇 报 人：张彤

报告时间：2023年10月31日（周二）20:30

报告形式：腾讯会议，350-944-402

内容简介：纵向导通型金刚石功率器件能够突破横向器件有限的功率处理能力，是提高电能利用效率的关键元器件之一。然而，现有纵向导通金刚石肖特基二极管同时实现低导通电压、高耐压的器件结构方面仍需要突破。本项目拟利用n型GaOx填充凹槽形成混合异质PN/肖特基结构并制备异质PN结倾斜台面终端结构，实现具有良好正向导通特性及反向关态特性的功率二极管器件。基于前期研究基础，通过研究混合异质PN/肖特基结构设计、GaOx/Diamond异质PN结倾斜台面终端结构设计及GaOx材料生长调控，探讨金刚石表面晶格损伤对GaOx/Diamond异质结导电机制的影响、异质PN结倾斜台面终端对边缘电场的调控机制以及金刚石晶面对GaOx/Diamond异质PN结接触特性的影响机理，为同时实现二极管低导通电压和关态耐压提供新思路和方案，为新型纵向型功率器件的研制提供实验参考。

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2023年10月30日